·美术培训
·我要投稿
·联系站长

  没有公告

您现在的位置: 中国电站技术网 >> 电力技术 >> 热控技术 >> 仪器仪表 >> 文章正文 用户登录 新用户注册
溅射薄膜压力传感器的优势            【字体:
溅射薄膜压力传感器的优势
作者:佚名    文章来源:不详    点击数:    更新时间:2007-10-25

    溅射薄膜压力传感器的优势
众所周知,压力敏感元件是压力传感器(变送器)的关键功能元件。压力能以各种方法测量,但关键的基本原理归结为两类:
1. 惠斯登电桥
配置于弹性膜片上的电桥电阻,在压力作用下发生形变,有的
被拉伸,有的则被压缩。电阻尺寸的变化引起电阻值的变化。因此电桥产生差动输出信号,其值正比于施加的压力。
惠斯登电桥可由金属电阻或压阻材料构成,压阻电桥由于晶格掺杂效应以及机械变形,能提供较大输出信号。
金属电阻可采用多种技术将电桥固定于膜片之上。诸如粘接,硅/陶瓷融合,直接分子键合。
2. 电容式
测量两片导电板的电容值,在压力作用下,导电板被迫挤合,使
电容值随压力的变化而变化。
电容式压力传感元件采用MEMS技术由陶瓷构成,或将金属嵌入半导体层中。传感元件固定(融合)于金属/玻璃密封体或装入充油腔中。
所有的压阻和硅技术都存在因掺杂物质迁移和费米能级效应而引起漂移倾向。这些影响随着温度的升高而增大。
密封和充油隔离腔体由于热膨胀系数不同而引起不希望有的热稳定性问题。在工作温区内的温度非线性是一个大问题,工作温区的高端和低端因此受到限制。并且存在充油腔漏油的潜在可能,这也是不希望有的。
金属电阻的粘接或硅/陶瓷融合。无可避免的从原理上存在不稳定现象。英国Senstronics(赛士)公司的压力敏感元件采用溅射工艺,在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上,以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和活动件,无需密封腔和充油腔,因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。





文章录入:admin    责任编辑:admin 
  • 上一篇文章:

  • 下一篇文章:
  • 发表评论】【加入收藏】【告诉好友】【打印此文】【关闭窗口
    中国电站技术网版权与免责申明:

    本站是一个非赢利性的网络公益平台,所有文章均来源于公开发表的媒体、网络,或是授权本站发表的机构、个人。除本站原创栏目及特别声明外,其余所刊发的文章、资料、图片、影像,本站不拥有版权,亦不表明本站赞同或否认其观点。如需引用,请注明原始出处或来源本站。对本站所提供的原创内容和服务,谢绝用于商业、政治、宗教等目的,本站不为任何非法转载引用承担责任。如您不愿文章被本站转载,请与本站联系。

    最新热点 最新推荐 相关文章
    BOPP薄膜生产线的CC-Link现场
    森兰SB80B变频器在薄膜卷绕机
    富士人机界面与变频器在塑料
    丹佛斯变频器在薄膜蒸镀机同
    BOPP薄膜生产线的CC-Link现场
    易控组态软件应用于磁控溅射
    易控组态软件在磁控溅射镀膜
    压差法和等压法薄膜透氧性测
    溅射薄膜压力传感器的优势
    BOPP薄膜生产线的CC-Link现场
      网友评论:(只显示最新10条。评论内容只代表网友观点,与本站立场无关!)
    友情链接